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光柵尺光學(xué)原理
日期：2024-09-04 05:43
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摘要：
光柵尺，也稱(chēng)為光柵尺位移傳感器（光柵尺傳感器），是利用光柵的光學(xué)原理工作的測量反饋裝置。光柵尺經(jīng)常應用于數控機床的閉環(huán)伺服系統中，可用作直線(xiàn)位移或者角位移的檢測。其測量輸出的信號為數字脈沖，具有檢測范圍大，檢測精度高，響應速度快的特點(diǎn)。例如，在數控機床中常用于對刀具和工件的坐標進(jìn)行檢測，來(lái)觀(guān)察和跟蹤走刀誤差，以起到一個(gè)補償刀具的運動(dòng)誤差的作用。
光柵尺是有標尺光柵和光柵讀數頭兩部分組成。標尺光柵一般固定在機床活動(dòng)部件上，光柵讀數頭裝在機床固定部件上，指示光柵裝在光柵讀數頭中。右圖所示的就是光柵尺的結構。
光柵檢測裝置結構光柵檢測裝置的關(guān)鍵部分是光柵讀數頭，它由光源、會(huì )聚透鏡、指示光柵、光電元件及調整機構等組成。光柵讀數頭結構形式很多，根據讀數頭結構特點(diǎn)和使用場(chǎng)合分為直接接收式讀數頭(或稱(chēng)硅光電池讀數頭、鏡像式讀數頭、分光鏡式讀數頭、金屬光柵反射式讀數頭）。
